超純水機系統采用內含進口核級離子交換樹脂和核級活性碳的純化柱，終端安裝密除菌級過濾器，*去除水中的離子和有機物，出口經過高度在線電阻率儀的檢測，實時顯示產水水質，確保用戶放心使用。系統及純化柱采用密注塑工藝成型，外形美觀，結構緊湊，占地面積小，在機器兩側有特別的人性化設計的用于移動的把手位，免維護，免清洗。系統對進水的要求為蒸餾水或反滲透水，同時該系統還有多種可選的柱型，適應原水的水質改變和產水的水質的不同要求。超純水機系統所產超純水可作為儀器分析的配套，廣泛用于IC、AA、ICP、HPLC、ICP-MS以及哺乳動物細胞培養用的緩沖液和培養基制備、分子生物學試劑制備等。

　　在超純水機系統中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

　　一般在超純水區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。設備面管一般采用內襯膠鋼管，對于水泵等產生震動的動力設備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透（RO）之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mp*法蘭。由于RO對水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應采用SUS304管；在超純水階段，主流程一般應采用SUS316管和CPVC管；拋光循環區主流程一般采用SUS316管和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。

　　在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管；在純水過程中酸堿等加藥管線，應采用耐沖擊PVC管；純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管；壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動閥開關動力，一般采用SUS304管或SGP管，當采用SGP管時進入電氣盤前需加過濾器。