工業超純水機系統、處理系統、后處理系統三大部分組成。原水經石英砂單元、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物(顆粒物質)、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。根據主機和儲水桶的結合情況還可分為分體式和一體式的，分體式的占地面積比較大，儲水桶和機身分離;一體式純水機的主機和儲水桶在一起，占地面積小，外形美觀大方。用戶可根據自己的實際情況做出選擇。